一种半监督变换检测晶圆缺陷的方法和系统

本发明提供了一种半监督变换检测晶圆缺陷的方法和系统，基于多重扰动一致性正则化，包括：对晶圆图像进行处理，获得已标注晶圆数据和未标注晶圆数据；构建变化检测网络，使用已标注晶圆数据输入变化检测网络进行有监督训练；对未标注晶圆数据进行强弱数据增强，得到未标注晶圆数据的中间特征，并进行图像强弱变化一致性学习；对未标注晶圆数据的中间特征进行多种扰动，生成扰动后的特征图，并计算特征扰动一致性损失函数；计算训练后的模型的总损失函数，得到最终模型；将未标注晶圆数据输入最终模型，得到晶圆缺陷检测结果。本发明引入半监督学习，大幅减少人工标注成本；通过多重扰动一致性正则化，提高晶圆变化检测的准确性和鲁棒性。