摘要
本发明属于光学显微技术领域,具体公开了用于观察液滴相分离的光学显微系统,包括具有载物台的光学显微镜,载物台上设环境腔,还包括湿度调节单元,包括气罐,气罐的出口分别与第一质量流量控制器的进口和第二质量流量控制器的进口连通,气体洗瓶内盛装有超纯水,加热组件设在气体洗瓶上,第二质量流量控制器的出口和气体洗瓶连通,第一质量流量控制器的出口、气体洗瓶的出口分别和环境腔的进口连通,环境腔的出口与大气连通,温湿度检测组件,设在环境腔内部;控制单元分别与第一质量流量控制器、第二质量流量控制器和温湿度检测组件电连接。本发明能使环境腔内的相对湿度以恒定的速率进行连续变化,从而对样品液滴的相分离过程进行观察。
技术关键词
流量控制器
光学显微系统
颗粒物过滤器
洗瓶
检测组件
液滴
湿度调节单元
冷水机组
加热组件
温度调节单元
控制单元
半导体芯片
气罐
载物台
光学显微镜
加热带
温湿度传感器
气体
光学显微技术
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