基于光波导芯片的MEMS扫描镜角度测量装置及方法

本申请涉及一种基于光波导芯片的MEMS扫描镜角度测量装置及方法，其中，装置包括：激光器，用于发射激光信号；信号发生器，用于生成四路同步正余弦信号，并将其中一路余弦信号发送至光波导芯片中；光波导芯片，用于将激光信号发射至MEMS扫描镜中，以得到反射光信号，基于其中一路余弦信号对参考臂对应的光信号进行相位调制，以得到调制光信号，并结合反射光信号生成两路干涉光信号；探测器，用于将两路干涉光信号转换为两路电信号；主控计算机，用于基于两路电信号和其他三路正余弦信号，进行偏转角度解调操作，以得到MEMS扫描镜对应的偏转角度，从而实现了MEMS扫描镜角度的集成化高精度测量。