一种在线测厚仪长漂校准方法及装置

本发明公开了一种在线测厚仪长漂校准方法及装置，本发明涉及测厚仪技术领域。获取预设的校准算法；对没有放置薄膜的纯射线源信号进行测量，获得纯射线强度的信号值；对标准件的信号进行测量，获得标准件削弱后的射线的信号值对标准样的材料和厚度；采用所述校准算法计算出时刻的纯射线源信号值，利用纯射线源信号值的缓变特性，实现对时刻附近的纯射线信号值的校准，再输入射线吸收公式可计算出被测薄膜的厚度通过设计一种高精度的校准装置，可以实时监测测厚仪的测量数据，并与标准数据进行对比，从而计算出测量误差。