摘要
本发明涉及微流控芯片技术领域,公开了一种结构化PDMS薄层/硬质基片复合体的制备方法。所述制备方法包括以下步骤:S1、将PDMS预聚体涂覆于硬质基片表面,静置回流,形成均匀PDMS薄层;S2、对所述PDMS薄层进行预固化处理,得到半固化PDMS薄层;S3、将模具压合于所述半固化PDMS薄层表面,真空辅助半固化PDMS填充模具微结构;S4、加热固化,剥离模具,得到所述的结构化PDMS薄层/硬质基片复合体。本发明提供的制备方法,通过各步骤的协同作用,得到了兼具高刚度、低水分挥发、抗溶剂溶胀及显微兼容性的结构化PDMS薄层/硬质基片复合体,满足了不同场景对PDMS微流控器件的应用需求。
技术关键词
薄层
复合体
基片
硬质
真空辅助
微流控芯片技术
PDMS薄膜
模具
微结构
加热
聚合体
金属片
固化剂
涂覆
真空度
聚合物
硅片
刚度
场景