一种单晶炉真空管道压力测量方法及装置

本发明涉及压力检测技术领域，具体涉及一种单晶炉真空管道压力测量方法及装置。该方法量化晶体生长过程中真空管道的温度偏移；对温度数据和生长速率的增长趋势进行匹配分析，通过匹配段组进行温度数据和生长速率的时间延迟量识别；以晶体生长过程中温度数据与生长速率的时间延迟量变化，及压力的偏差变化的关系，分析温度滞后的动态补偿，确定延迟补偿指标；依据延迟补偿指标和温度偏移进行温度数据补偿后，得到当前调整压力测量数据。本发明分析温度与晶体生长的动态伴随情况，通过伴随时延程度确定时延补偿，结合温度偏移补偿温度数据并调整压力，使测量的压力数据能更真实地反映晶体生长过程中的压力状况，提高压力测量的精度。