基于深度学习的电子元器件失效机理识别方法及系统

本发明提供基于深度学习的电子元器件失效机理识别方法及系统，涉及电子元器件失效分析技术领域，包括通过离子切片和抛光处理获得无应力无划痕样品，采用扫描电子显微镜获取电子显微图像，将图像输入预训练的深度学习模型识别失效类型，结合能谱分析获取元素分布数据，最终生成包含失效位置、类型及机理分析的失效分析报告。本发明能够快速准确地识别电子元器件的失效机理，提高失效分析效率和准确性。