一种硅片清洗备料线及备料方法

本发明公开了硅片清洗备料线及备料方法，包括大花篮流转机构、小花篮流转机构、硅片转移机构、第一机械臂、第二机械臂以及若干大花篮和小花篮，硅片转移机构包括两个沿X方向排列的大花篮移载组件、若干沿X方向排列且位于两个大花篮移载组件之间的小花篮移载组件、用于在大花篮和小花篮之间移载硅片的双工位移片组件，大花篮移载组件用于将大花篮沿Y方向输送，小花篮移载组件用于将小花篮沿Y方向输送，双工位移片组件用于将硅片在大花篮移载组件中的大花篮和小花篮移载组件中的小花篮之间转移。优点：确保硅片在大花篮与小花篮之间转移的效率。