摘要
本申请公开了一种基于力估计的引线键合机力位控制方法,包括如下步骤:基于设计的力估计器对驱动键合的音圈电机的电流进行测量以估计接触力的值;设定力估计阈值F0和速度阈值v0,并根据估计的接触力Fcontact和光栅尺测得的键合运动速度v进行力/位控制策略的设计;设计得到的力/位控制策略为:当Fcontact<F0时,对键合头采用位置控制;当Fcontact≥F0,且v/vref<v0时,对键合头采用力控制;当Fcontact≥F0,且v/vref≥v0时,对键合头采用位置控制。本申请的有益效果:本申请无需在键合头上安装力传感器,精确利用位置传感器的数据信息,通过估计算法实现力的估计,从而在提高键合头键合精度的同时,降低系统的设计成本。
技术关键词
音圈电机
扰动观测器
摩擦力矩
控制策略
力传感器标定
电流
速度
规划
光栅尺
推力
阶段
观测系统
估计算法
构建系统
闭环控制
方程
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