一种晶圆高温扎针精度补偿方法、装置和探针台

本发明涉及一种晶圆高温扎针精度补偿方法、装置和探针台，其中，晶圆高温扎针精度补偿方法，其包括构建扎针偏差预测模型的步骤和利用扎针偏差预测模型对扎针偏差进行预测和位置补偿的步骤；所述利用扎针偏差预测模型对扎针偏差进行预测和位置补偿的步骤包括：步骤S21：获取对晶圆扎针时的位置区域变量X1、运动平台速度X2、针卡针数X3和晶圆卡盘温度X4；步骤S22：根据步骤S21中获取的位置区域变量X1、运动平台速度X2、针卡针数X3和晶圆卡盘温度X4，利用所述扎针偏差预测模型计算得到预测的扎针位置偏差Y；步骤S23：根据所述预测的扎针位置偏差Y对晶圆的高温扎针进行位置补偿。根据本发明的技术方案，可以提高晶圆在高温测试时的扎针精度。