一种具备AI系统的抛光垫表面粗糙度监测装置及其方法

本发明涉及化学机械研磨设备技术领域，且公开了一种具备AI系统的抛光垫表面粗糙度监测装置，包括光学感知器模块、数据传输模块、控制与报警模块、钻石碟固定扣环、防水电缆线槽和钻石碟摇摆臂，所述光学传感器模块，设置于钻石碟固定座侧面，所述数据传输模块设置于钻石碟固定座侧面，所述控制与报警模块设置于钻石碟固定座侧面。该具备AI系统的抛光垫表面粗糙度监测装置及其方法，实现了提高制程工艺精度与稳定性，提升生产效率降低成本，钻石碟简化换装与延长使用寿命，该方法可应用于半导体与集成电路制造、精密光学元件加工、以及高精度金属表面处理等领域，以提高产品良率和制程稳定性。