一种基于MEMS热电堆技术的变温PCR调温装置

本发明公开了一种基于MEMS热电堆技术的变温PCR调温装置，包括散热器，所述散热器的散热接触面上固定安装有第一基座，所述第一基座的上表面固定安装有冷面板，所述冷面板的下表面位于第一基座的内侧固定安装有一号膜。本发明所述的一种基于MEMS热电堆技术的变温PCR调温装置，该基于MEMS热电堆技术的变温PCR调温装置具有加热功率低、响应时间快、热量损耗小、与CMOS工艺兼容、易于同其它微电子器件集成等优点，微机电系统(MEMS)的集成式荧光PCR检测芯片，将微流控反应腔、温控模块和光学检测系统高度集成于单一芯片平台，实现核酸扩增与荧光信号检测的一体化操作。通过MEMS技术实现PCR荧光检测的微型化与集成化，显著提升检测效率并降低成本，适用于POCT与精准医疗领域。