一种中波红外集成偏振探测器及制备方法

本公开提供一种中波红外集成偏振探测器及制备方法，所述中波红外集成偏振探测器包括依次设置的多个呈周期阵列排布的偏振光栅、介质膜层和中波红外探测芯片，所述中波红外探测芯片具有多个呈周期阵列排布的pn结区，所述pn结区与所述偏振光栅一一对应布置，所述中波红外探测芯片具有多个隔离槽，所述隔离槽对应设于相邻两个所述偏振光栅之间，所述隔离槽内填充有隔离件。通过在中波红外探测芯片中设置隔离件，抑制相邻的两个偏振光栅的偏振光串扰，提升中波红外集成偏振探测器的消光比。本公开的制备方法采用纳米压印技术直接在介质膜层上加工纳米级的偏振光栅，可以提高加工效率，降低加工成本。