摘要
本发明属于光学显微测量相关技术领域,其公开了一种基于轴向梯度筛选的连续扫描结构光三维形貌测量方法及系统,方法包括:对待测样品采用连续垂直结构照明扫描,在每个轴向位置处向待测样品投射预设条纹图案并采集一张结构光图像;计算结构光图像中所有像素点的光强关于轴向位置的轴向梯度值,并筛选最大的轴向梯度值大于第一预设阈值的结构光图像,形成有效图像堆栈;然后根据轴向梯度平方值对像素点的光强数据进行二次筛选,以此进行三维形貌重建测量。本发明提出利用轴向梯度值对结构光图像进行筛选,并基于轴向梯度平方值对光强数据进行二次筛选,有利于在保证精度的前提下,减少冗余数据量、提升计算效率,实现大轴向范围样品的高效测量。
技术关键词
结构光图像
三维形貌测量方法
扫描结构
扫描光路系统
图像堆栈
像素点
条纹图案
光强
结构照明
表面三维形貌
计量模块
定位算法
数据
曲线
控制器
激光
冗余
相机
精度
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模式识别算法
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三维重建模型
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结构光图像