摘要
本发明涉及光电子器件技术领域,尤其是基于两不同光栅且相位间隔λ/2金属光栅的激光器,包括:增益芯片、增益芯片光波导、光栅光波导衬底、光波导以及金属BRAGG反射光栅。采用独特的外腔结构,摒弃传统夹层半导体光栅,采用顶部金属光栅,极大地简化和规避了传统DFB三明治式二次外延制作工艺,降低了生产成本,特别地,将金属光栅分为两个光栅常数相近但不一样的部分,且两光栅相位拉开λ/2,这种设计能够有效提高激光器光束的边模抑制比(SMSR),压缩激光线宽,为激光器在高性能应用场景中的稳定工作提供保障,结合增益芯片与光栅光波导衬底“嘴对嘴”耦合对接方式,有效提高了光栅反射效率。
技术关键词
金属光栅
反射光栅
光波导
激光器
反射膜
芯片
外延制作工艺
光电子器件技术
多层结构
反射镜
衬底
光栅相位
量子阱结构
反射率
三明治
高性能
周期
半导体
光束
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