一种基于纳米狭缝限域效应的溶液-界面测量装置及制备方法和测量方法

本发明公开了一种基于纳米狭缝限域效应的溶液‑界面测量装置及制备方法和测量方法，测量装置包括：样品制备层，其包括硅衬底，硅衬底上形成有两个基于MEMS工艺的平行间隔设置的电极，电极上表面形成有硫醇自组装修饰层；两个电极之间形成有纳米凹槽，纳米凹槽的入口设有倾斜导入面，倾斜导入面的表面形成有亲水层；在线监测层，其包括温控模块，温控模块的热敏电阻点阵排列在硅衬底的底部；还包括设置在电极上表面的光纤表面等离子体共振传感器、以及设置在纳米凹槽侧壁的pH光纤探头；信号处理层，其包括设置在在线监测层底部的电化学阻抗谱电路板。本发明的测量装置可以解决传统测量装置结构复杂、易堵塞、界面信号弱、溶液引入不均匀的问题。