摘要
本发明公开了一种校准方法及相关装置。其中,校准方法包括:将至少一个第一升降气缸安装在龙门架上,并在第一升降气缸的输出端设有标准块,在标准块下方设有第一传感器,并将第一传感器安装在吸附平台上;使标准块与基板抵连;使第一传感器的测头上升并抵连标准块,使第一传感器放大器的初始测量值归零;使第一传感器和标准块复位;将涂布头移动至第一传感器的正上方;使第一传感器的测头上升至其量程的上限位置;下移涂布头,使涂布头抵连第一传感器,并将涂布头的Z轴坐与第一传感器的测量值建立映射关系,以对涂布头位置进行零点标定。本发明的校准方法及相关装置不仅能够缩短校准时间,大幅提升设备稼动率;还能够避免人工摆放误差,提高设备复用的可靠性。
技术关键词
涂布头
校准方法
吸附平台
建立映射关系
传感器放大器
涂布设备
升降气缸
校准块
校准系统
移动龙门架
人机交互单元
头顶
基板
缩短校准时间
模块
速度
稼动率
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