一种在气、电、力综合作用下的材料显微腐蚀表征方法

本发明涉及一种在气、电、力综合作用下的材料显微腐蚀表征方法，使用了一种表面设有观察窗口的密封芯片，所述密封芯片的密封腔内布置有通电电极，所述通电电极包括固定段及悬空在所述密封腔内的悬空段，所述悬空段的末端与样品电连接；所述通电电极的表面设有电控伸缩材料层，所述电控伸缩材料层与信号控制电极相连；所述密封芯片内设有通气系统。使用时同时启动通电电极、信号控制电极及通气系统，利用透射电镜透过所述观察窗口表征密封腔的样品在气、电、力同时耦合作用下的动态显微腐蚀过程。本发明拓展了原位透射电镜的表征能力，可应用于电学材料在真实复杂工作环境下的微观腐蚀演化过程表征。