摘要
本公开实施例提供了一种互连辅助芯片、芯片堆叠结构和存储器,应用于包含逻辑芯片和存储芯片的芯片堆叠结构,且互连辅助芯片堆叠在逻辑芯片和存储芯片之间;互连辅助芯片包括沿第三方向堆叠的衬底和重布线层,第三方向垂直于衬底的顶表面;互连辅助芯片还包括多个第一导电通孔和多个第一接触结构,第一导电通孔贯穿衬底,第一接触结构和第一导电通孔分别位于重布线层的两侧;多个第一导电通孔和多个第一接触结构一一对应,每一第一导电通孔通过重布线层电连接至对应的第一接触结构。
技术关键词
芯片堆叠结构
接触结构
存储芯片
导电
通孔
混合键合结构
逻辑
衬底
重布线层
存储器
通道
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