乙硅烷混合气的溶解混合系统及控制方法

本发明公开了一种乙硅烷混合气的溶解混合系统及控制方法，涉及气体混合制备技术领域，包含七大模块，储存模块以蜂窝状储气罐矩阵实现精准控压，罐壁采用纳米复合结构防腐；预混模块用双螺旋微通道与脉冲注入形成混沌流场；反应模块结合超临界与电磁共振加速反应；监测模块融合多光谱检测；控制系统基于深度强化学习，此外，还设有梯度冷凝‑膜蒸馏分离、仿生安全联锁等模块，各模块协同实现高效混合与生产。本发明实现乙硅烷混合气高精度制备，精准控压储料，分子级高效混合反应，多光谱精准监测，智能调控保障稳定，安全联锁与智能维护强，能减少故障，提升产品质量与生产效率，降低成本。