摘要
本发明属于气体传感器相关技术领域,其公开了一种热导型气体传感器及气体检测方法,所述传感器芯片包括芯片基板、加热电极、测温电极一、敏感材料膜及测温电极二,所述芯片基板开设有第二镂空通槽以形成镂空区域;所述加热电极及所述测温电极一设置在所述芯片基板上,且两者位于所述镂空区域的一侧,所述测温电极二设置在所述芯片基板上,且其位于所述镂空区域的另一侧,即所述测温电极一与所述测温电极二之间、所述测温电极二与所述加热电极之间均形成有间隙。本发明大幅度地提高了热导型气体传感器的灵敏度。
技术关键词
测温电极
气体传感器
芯片基板
加热电极
气体检测方法
传感器芯片
金属管
陶瓷
盖子
凹槽
尺寸
导热
图案
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