键合机台及其控制方法

本公开实施例公开了一种键合机台及其控制方法，所述键合机台包括：上料台，用于承载管芯载具；所述管芯载具用于承载待键合的管芯；储存腔，包括腔体、腔门以及进料接口；储液组件，包括流量阀；所述进料接口通过管道与所述流量阀连通；所述储液组件用于贮存液态二氧化碳；机械臂，以及控制装置；所述控制装置被配置为：响应于键合制程中断或完成之后的等待时长达到第一时长，且所述管芯载具还有待键合管芯；控制所述储存腔的腔门开启，控制所述机械臂将所述管芯载具传递至所述腔体之内；控制所述储存腔的腔门关闭；以及控制所述储液组件的流量阀开启，以向所述储存腔通入液态二氧化碳。