一种基于键合金丝运动轨迹建模及电参数提取方法

本发明公开了一种基于键合金丝运动轨迹建模及电参数提取方法，包括：通过软件编程对全自动键合机的键合金丝参数进行模拟，输出含有金丝运动轨迹的图像；通过数学理论分析方法对图像中的金丝运动轨迹建立数学函数表达式，并确定数学函数表达式中的拟合参数的数值；将数学函数表达式导入三维电磁软件，从而构建出金丝三维物理模型，并对金丝三维物理模型进行仿真，提取键合金丝的仿真物理参数和仿真电性能参数；利用TRL校准测试夹具对键合金丝进行精准测试，得到键合金丝的实测物理参数和实测电参数；对比键合金丝的仿真物理参数和实测物理参数，对比键合金丝的仿真电参数和实测电参数。本发明能够准确描述金丝的运动轨迹及电参数，有助于混合集成电路的精准设计。