基于人工智能的工业自动控制系统及方法

本发明公开了基于人工智能的工业自动控制系统及方法，涉及控制技术领域，本发明包括数据获取模块、掺杂规划模块、掺杂控制模块、预警终端和数据库，根据半导体的用途和晶格结构，以及历史各次掺杂时半导体的各信息，获取掺杂时所使用的离子液、离子注入机的各参数数值，当按照获取的数据控制半导体掺杂时，在各采集时刻分析半导体的掺杂效果，若掺杂效果不佳，则分析半导体各区域的电性和晶格，若存在某一区域的电性不符合要求，则对各掺杂参数数值进行调整，若存在晶格损坏的区域，则分析晶格的损坏系数，并进行退火操作，保障了离子液配置和离子注入机各参数的有效性，也保障了半导体的掺杂效率。