一种高质量磷硅玻璃及其制备方法

本发明公开了一种高质量磷硅玻璃及其制备方法，涉及半导体芯片加工技术领域。一种高质量磷硅玻璃的制备方法，包括如下步骤：将硅片进行热氧化处理，在硅片表面沉积二氧化硅膜；将沉积二氧化硅膜的硅片沉积含磷的多晶硅膜；对硅片高温扩散，再取出并去除表面多晶硅，得到磷硅玻璃。本发明解决了磷硅玻璃低击穿的问题。