摘要
本发明提供了一种光电封装结构,涉及半导体封装领域,包括:具有凹槽的有机基板和玻璃基板,玻璃板插设于所述凹槽内,并与有机基板实现电连接,在玻璃基板上还分别电连接有PIC芯片、第一EIC芯片、第二EIC芯片以及ASIC芯片,在有机基板上固定有散热围挡,所述散热围挡围设在所述玻璃基板周围,并将所述第一EIC芯片、第二EIC芯片、PIC芯片及ASIC芯片抵紧在玻璃基板上,本申请通过有机基板与玻璃基板的垂直互联架构,有效实现了三维空间集成,既节省了有机基板在XY平面上的布线空间,又充分发挥了玻璃基板在高频信号传输中低损耗、窄线宽的技术优势,使得相同信号密度下的封装尺寸显著缩小。
技术关键词
光电封装结构
玻璃基板
金手指
ASIC芯片
光刻图案化
沉积铜层
凹槽
镀金工艺
金属化
半导体封装
表面涂布
导热材料
化学镀
电镀
光刻胶
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