一种铟柱制备方法

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一种铟柱制备方法
申请号:CN202510746559
申请日期:2025-06-05
公开号:CN120583776A
公开日期:2025-09-02
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种铟柱制备方法,包括步骤:提供待制备铟柱的芯片,芯片表面形成光刻孔,所述光刻孔暴露底部电极,用于在电极表面制备若干铟柱;在所述芯片形成有光刻孔的一侧表面沉积金属铟,其中,在所述若干光刻孔内形成若干铟柱,在所述芯片光刻胶层表面形成铟膜层;将所述芯片浸泡于剥离溶液中,所述剥离溶液为丙酮、乙醇以及表面活性剂的混合溶液;利用超声波去除所述光刻胶和所述芯片表面的铟膜层。本申请提供的铟柱制备方法,提高了铟剥离的效率与合格率,避免了铟剥离过程中铟皮碎屑残留的产生。
技术关键词
铟柱 光刻胶层 烷基酚聚氧乙烯醚 芯片 表面活性剂 溶液 丙酮 乙醇 超声频率 电极 超声波 电子束 碎屑
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