摘要
本申请公开了一种芯片封装结构及制备方法、功率模块、功率转换电路,涉及半导体技术领域,旨在提高封装的可靠性。芯片封装结构的制备方法包括:提供芯片、第一模具和第二模具,芯片包括碳化硅晶体管。通过第一模具形成第一封装层,第一封装层覆盖碳化硅晶体管的至少部分,第一封装层包括第一封装材料。通过第二模具形成第二封装层,第二封装层覆盖第一封装层的至少部分,第二封装层包括第二封装材料。其中,第一封装材料的粘附性大于第二封装材料的粘附性;和/或,第一封装材料的热膨胀系数小于第二封装材料的热膨胀系数;和/或,第一封装材料的水汽透过率大于第二封装材料的水汽透过率。
技术关键词
封装材料
碳化硅晶体管
芯片封装结构
功率转换电路
改性环氧树脂
聚酰亚胺膜材料
透过率
复合环氧树脂
熔融硅微粉
杂化聚合物
模具
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