一种晶圆传输单元、清洗装置和处理设备

本申请公开了一种晶圆传输单元、清洗装置和处理设备，晶圆传输单元包括：机械手组件，包括取放晶圆的机械手和机械手驱动电机；滴液盘组件，包括位于机械手下方的滴液盘和连接臂；导流组件，包括设置在滴液盘的底面的导流孔，和与导流孔连通的导流管；移动组件，包括支架和支撑台，机械手驱动电机设置在支撑台上，滴液盘通过连接臂与支撑台固定连接；机械手配置为在机械手驱动电机的驱动下、使机械手和晶圆在滴液盘限定的水平空间内移动；导流组件配置为通过导流管和导流孔向滴液盘供应保湿液，和，从滴液盘回收保湿液，以使得从晶圆和机械手滴落的加工副产物滴落在保湿液中、并随保湿液从导流孔排出，从而不会污染和损伤晶圆。