摘要
本发明属于芯片封装领域,具体的说是一种芯片封装排片机,通过定位激光台发射固定激光,通过激光的反射确定晶圆台的距离,从而确定是否移动到指定位置,若存在偏差,调控晶圆台进行微调,保证晶圆台移动至预定位置;通过激光发射器发射定位激光,确定基板固定座已经移动至预定位置;之后让抓取吸盘平移至该基板固定座的上方,再次发射定位激光,确定抓取吸盘已经移动至预定位置后,控制抓取吸盘进行下沉,并在下沉过程中,激光发射器调整发射角度,让定位激光作用于抓取吸盘的顶部,并跟随抓取吸盘的移动而调整角度,实时监控抓取吸盘的下沉过程,保证了抓取吸盘的稳定下沉过程,通过此三重确定方式,可以准确的让芯片压合到基板的表面。
技术关键词
抓取吸盘
排片机
芯片封装
晶圆台
激光发射器
传送带
电磁感应线圈
升降台
电热模块
芯片基板
负压吸盘
伺服电机
机械爪
移动台
底座
接收器
观察窗
进料
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