一种射频匹配器一致性比对方法

本发明公开了一种射频匹配器一致性比对方法，设置FPGA设备采集射频匹配器的实时参数数据，射频匹配器的实体电路根据需求设置；FPGA设备将采集的实时参数数据发送至用户终端的调试平台，用户通过关联地址读取实时参数数据、校准参数或修改对应射频匹配器的校准参数；设置可调的CT容值、CL容值与实体射频匹配器的CT容值、CL容值关联，校准参数为调整CT容值/CL容值的单一变量，使得射频匹配器的实时参数数据叠加校准参数实现输出；通过观察比对界面中各个待比对的射频匹配器的工作状态，调整校准参数，使得待比对的射频匹配器的工作状态相等或位于阀值范围内，确保设备在客户工艺中工作时的一致性。