一种大尺寸基板的缺陷检测方法及设备

本申请公开了一种大尺寸基板的缺陷检测方法及设备，所述缺陷检测方法包括：对基板图像以预设尺寸和预设步长进行滑动分割，得到多个待检测图像；所述预设尺寸为预设目标检测模型的输入尺寸；任意两个相邻的所述待检测图像之间存在图像重叠区，图像重叠区的尺寸由所述基板图像的缺陷尺寸决定；以预设第一置信值，将多个所述待检查图像输入所述预设目标检测模型中，得到第一识别结果；所述第一识别结果包括缺陷框尺寸以及缺陷类型。本申请能够检测微米级的缺陷。