刻蚀效果预测方法及相关设备

一种刻蚀效果预测方法及相关设备，所述刻蚀效果预测方法包括：获取输入刻蚀参数；采用预设的刻蚀效果预测模型对所述输入刻蚀参数进行刻蚀效果预测处理，获取相应的刻蚀效果预测结果。本发明实施例提供的技术方案，有利于提高刻蚀效果预测的鲁棒性。