一种加速度计蓝宝石摆片加工方法

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一种加速度计蓝宝石摆片加工方法
申请号:CN202510770138
申请日期:2025-06-10
公开号:CN120619926A
公开日期:2025-09-12
类型:发明专利
摘要
本发明涉及加速度计摆片技术领域,具体涉及一种加速度计蓝宝石摆片加工方法。本发明通过激光‑磨削复合加工工艺与智能夹具的协同作用,系统性解决了蓝宝石摆片加工中的残余应力、精度及效率问题。整体流程分为粗加工、精加工及动态应力控制三个阶段,结合高精度夹具与实时监测系统,实现从毛坯到成品的全流程优化。
技术关键词
光纤光栅传感器 吸附平台 机床数控系统 防反射涂层 激光切割法 超精密磨削 回归算法 金刚石磨粒 调节进给速率 T型螺母 类金刚石镀膜 应力 网格 激光聚焦光斑 真空吸附系统 调节进给量 高精度夹具 蓝宝石表面 环氧结构胶 长短期记忆网络
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