一种基于深度学习的键合铜丝工艺调控方法及系统

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一种基于深度学习的键合铜丝工艺调控方法及系统
申请号:CN202510778215
申请日期:2025-06-11
公开号:CN120854289A
公开日期:2025-10-28
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种基于深度学习的键合铜丝工艺调控方法及系统,涉及电子封装技术领域。该一种基于深度学习的键合铜丝工艺调控方法及系统,包括S1:基于铜丝键合生产线,采用多传感器数据采集方法,并通过数据清洗与归一化处理对实时采集的温度、压力、位移、电流等工艺参数进行预处理,具体包括安装高精度传感器实时监测键合过程中的各项参数,利用数据清洗技术去除噪声和异常值,再通过归一化处理将不同量纲的数据统一到同一尺度,通过在铜丝键合生产线上采用多传感器同步采集方法,并引入卡尔曼滤波算法对实时采集的温度、压力、位移、电流等多维工艺参数进行优化处理,显著提升了工艺参数数据的准确性和可靠性。
技术关键词
时序预测模型 参数 子模块 铜丝工艺 高精度传感器 同步采集方法 缺陷预测 数据采集模块 长短期记忆网络 数据清洗技术 键合设备 多传感器 调控方法 规则引擎方法 模糊逻辑 执行控制系统 LSTM模型 生成工艺 反馈控制模块
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