基于高斯注意力机制的芯片缺陷检测方法及系统

本申请涉及缺陷检测技术领域，尤其涉及一种基于高斯注意力机制的芯片缺陷检测方法及系统，包括采集芯片图像，对采集的芯片图像进行预处理，并标注芯片图像中的缺陷区域，生成反映缺陷分布的二值掩膜图像；基于二值掩膜图像，结合距离变换和局部颜色变化分析生成高斯注意力通道；将高斯注意力通道与芯片图像在通道维度上进行连接，生成增强图像；基于增强图像执行缺陷检测算法，识别芯片图像中的缺陷区域。本申请能够提高检测系统对微小和低对比度缺陷的敏感度，从而降低误报率，同时在不大幅增加计算复杂度的前提下有效提升缺陷检测精度。