一种针对华瑛腔体的6寸边腐蚀设备自动水洗工艺

本发明公开了一种针对华瑛腔体的6寸边腐蚀设备自动水洗工艺，具体涉及材料工业清洗技术领域，包括以下步骤：S1、在华瑛腔体的现有进气孔和真空孔处分别加装旋转阀，并连接水路管道，所述水路管道与水泵、流量计、压力传感器相连，所述水泵、流量计、压力传感器以及旋转阀均与控制器通信连接；本发明通过在华瑛腔的进气孔和真空孔处加装旋转阀及水路管道，并利用设备自带的水泵、流量计、压力传感器与控制器，实现自动水洗功能，无需人工拆卸腔体，避免了人工操作带来的二次损伤风险，显著减少了拆卸、清理和重新安装所需时间与精力，有效降低了设备维护成本，同时避免了因人工清理导致的设备停机，极大提高了生产效率，带来了可观的经济效益。