光刻热点模式数据库的建立方法、装置、设备及介质

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光刻热点模式数据库的建立方法、装置、设备及介质
申请号:CN202510783063
申请日期:2025-06-12
公开号:CN120524902A
公开日期:2025-08-22
类型:发明专利
摘要
本公开是关于一种光刻热点模式数据库的建立方法、装置、设备及介质。光刻热点模式数据库的建立方法包括:提取集成电路版图中的所有的水平边和斜边,并在集成电路版图上进行网格区域划分,在集成电路版图中的光刻热点区域设置边界框,其中边界框包围光刻热点区域,根据边界框覆盖的网格区域,获取被边界框包围的光刻热点区域的水平边和斜边作为第一热点模式的内部图形,补齐被边界框包围的光刻热点区域的内部图形所缺失的边缘,得到被边界框包围的光刻热点区域的第一热点模式,利用哈希函数查询预存的热点模式库中是否存在与第一热点模式相同的热点模式,以对热点模式库进行更新。可以快速更新热点模式库,显著减少了第一热点模式识别所需要的时间和内存消耗。
技术关键词
光刻热点 集成电路版图 网格 版图图形 扫描线算法 线段 镜像 模式识别 模块 处理器 终点 可读存储介质 存储器 电子设备 内存 计算机 终端
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