花篮提升装置及硅片清洗设备

本发明公开了一种花篮提升装置及硅片清洗设备，所述花篮提升装置包括第一X轴位移机构、至少一个第一Z轴位移机构以及承载座；所述承载座用于承载花篮，在以X、Y、Z轴为坐标轴的空间直角坐标系中，所述花篮包括沿X轴方向并列设置的至少两个用于收容硅片的容纳空间；所述第一Z轴位移机构与承载座相连接，所述第一Z轴位移机构用于驱使承载座位移机构沿Z轴方向移动；所述第一X轴位移机构与第一Z轴位移机构相连接，所述第一X轴位移机构用于驱使第一Z轴位移机构沿X轴方向移动。本发明的花篮提升装置可以适配多种规格的花篮，提升花篮提升装置的适用范围，还可以提升花篮的装载量，提升花篮提升装置的效率。