晶圆边缘信息的检测方法

本申请涉及一种晶圆边缘信息的检测方法，通过确定至少一个量测区，量测区内包括沿晶圆的径向分布的多个量测点；向各量测点发射脉冲信号，基于脉冲信号的反射信号确定各量测点处待测膜层的厚度；将从晶圆的圆心到圆周的方向上第一个待测膜层的厚度为零的量测点确定为边界量测点，基于边界量测点确定待测膜层的边界的位置信息，基于边界的位置信息与晶圆的半径确定边缘清洗区域的实际宽度；如此，降低了人工检测对于晶圆和晶圆传送盒造成污染的风险，减少了晶圆损耗，同时降低物料及人工成本；并且能够更精确全面地检测晶圆边缘信息，从而提高了产品的良率，保证了产品的质量。