联合测试系统、碳化硅超表面光栅检测方法及测试装置

本发明公开了联合测试系统、碳化硅超表面光栅检测方法及测试装置，属于半导体检测技术领域。通过调控光源与微波源生成协同激励信号，施加于待测碳化硅超表面光栅形成光强与微波场干涉图样。多通道同步采集数据，经时间对齐、标记物特征提取及坐标映射构建多维矩阵，提取缺陷特征建立基准模型，计算偏离度判定质量，对缺陷光栅通过筛选异常点、构建候选区域及耦合验证划分潜在缺陷区域。针对潜在缺陷区域，以梯度下降算法动态调整激励参数，结合特征缺陷度与面积划分缺陷等级。本发明解决了单一模态检测不足、多模态对齐精度低及激励参数盲目调整问题，实现跨频段协同检测与智能分级，提升检测可靠性。