仿真模型的参数更新方法、仿真方法、电子设备及介质

本公开的实施例涉及仿真模型的参数更新方法、仿真方法、电子设备及介质。仿真模型的参数更新方法，包括：基于各个时间步和相应的蚀刻速率确定蚀刻后沟槽的底部的最终高度的仿真值；基于仿真值与目标值的比较确定与沟槽的蚀刻速率相关的参数的更新值，以使得对应于参数的更新值的仿真值与目标值的差变小。本公开的技术方案提供了高精度的仿真模型，能够精确仿真半导体工艺中的蚀刻过程。