一种MEMS FP阵列滤光芯片自动化测试方法

本发明涉及芯片测试方法，特别涉及一种MEMS FP阵列滤光芯片自动化测试方法，包括以下步骤：S1.采用光谱共聚焦位移传感器、热红外相机、高精度三维电机驱动载物台组成的自动化测试系统；S2.阵列滤光芯片样品位置标定及校准；S4.构建聚焦识别模型；S5.光路对准及聚焦；S6.芯片驱动及数据采集及数据处理。本发明与现有技术相比有益效果为：本发明适用于小型阵列滤光芯片的调谐性能的全自动化测试，解决了阵列滤光芯片光路高度对准以及聚焦困难的问题，测试精度高，速度快，效率高，降低了人员干预度。