一种检测方法及系统

本申请涉及半导体领域，具体涉及一种检测方法及系统。该方法及系统包括：对采集的沟槽图像进行预处理；对预处理后的沟槽图像进行特征处理，得到融合后的特征；对融合后的特征进行分割，得到沟槽分割图像；对沟槽分割图像的沟槽区域的灰度值进行统计分析，检测出不合格沟槽区域。本申请解决了利用传统图像分割算法分割不准确、常用的深度学习模型效率较慢、所占显存较大的问题。