摘要
本发明公开了一种压力传感器封装结构及封装方法,涉及微观结构封装技术领域,旨在解决国内绝对压力传感器封装结构封装困难的技术问题,包括用于安装压力传感器的基座机构,基座机构包括六角块A,还包括六角块B、活动机构及膜机构,膜机构底端固设有向压力传感器传递压力的杆体。本发明利用机械结构的方式,使得若干活动机构偏心移动后与柱形腔间隙构成真空参考腔,配合采用普通的压力传感器即可完成绝对压力传感器封装,规避了传统的绝对压力传感器封装的键合工艺及绝对压力MEMS芯片,使得绝对压力传感器的封装简单化,便于国内对压力传感器封装结构封装,解决了国内对绝对压力传感器封装困难的技术问题。
技术关键词
压力传感器
膜机构
微观结构封装技术
防护环
封装方法
活动块
旋转设备
螺纹环
顶端
偏心
密封块
升降结构
导电机构
圆台
密封垫
MEMS芯片
真空腔
基座
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