一种融合多尺度动态感知与特征解耦的晶圆表面缺陷检测方法

本发明公开了一种融合多尺度动态感知与特征解耦的晶圆表面缺陷检测方法，步骤包括：收集晶圆缺陷并标注；使用动态卷积模块对输入图像进行逐层处理，提取多尺度特征，捕捉边缘、纹理信息；输入感知模块，通过变换器编码建模空间依赖提升特征判别力；利用上采样与下采样将不同尺度特征图统一尺寸，在拼接后通过特征增强模块进行双向信息融合；将融合后的多尺度特征图输入异常检测解码模块，通过注意力机制与位置查询机制对异常区域进行判别与定位，输出包含类别与位置的预测结果图；进入推理模式，得到识别出的晶圆图像中的异常目标区域。本发明方法不仅提升了模型在早期阶段的检测精度与实时性，还有效减少了缺陷在后续工序中的扩散风险。