半导体缺陷的检测方法、系统及存储介质

本发明提供了半导体缺陷的检测方法、系统及存储介质。所述半导体缺陷的检测方法包括以下步骤：获取待测半导体器件的检测图像；对所述检测图像进行预设缺陷的目标检测，以确定至少一个第一候选缺陷及其对应的第一置信度；将所述检测图像与预设的模板图像进行特征比对，以确定至少一个第二候选缺陷及其对应的第二置信度；对所述检测图像进行基于神经网络推理的路由选择，以确定其关于所述目标检测的第一得分，以及其关于所述特征比对的第二得分；以及根据所述第一得分、所述第二得分、各所述第一候选缺陷的第一置信度，以及各所述第二候选缺陷的第二置信度，从各所述第一候选缺陷及各所述第二候选缺陷中筛选所述待测半导体器件的缺陷检测结果。