一种外腔大范围可调谐激光器

本发明公开一种外腔大范围可调谐激光器，涉及大范围波长可调谐激光器技术领域。该激光器包括有源增益芯片和无源外腔芯片；有源增益芯片包含光增益区、多模干涉反射区、半导体光放大区和模斑转换器；无源外腔芯片包含公共相位区、微环谐振区和模斑转换器；光增益区提供激光器激射所需的增益；多模干涉反射区作为激光器的前镜面；半导体光放大区放大光信号；公共相位区移动激光器纵模位置；微环谐振区提供模式选择和光反馈，作为激光器的后镜面；与前镜面一同构成激光器谐振腔。本发明基于无源微环外腔的游标卡尺效应实现线宽压窄和宽范围调谐，利用多模干涉反射区在片上集成半导体光放大区来提高输出光功率，仅需一次有源增益芯片与无源外腔芯片端面对接耦合可满足高功率、窄线宽、大范围调谐。