晶圆外观缺陷检测方法、装置、计算机设备

本申请涉及一种晶圆外观缺陷检测方法、装置、计算机设备、计算机可读存储介质及计算机程序产品，所述方法包括：获取晶圆图像；对所述晶圆图像进行通道分割处理，提取目标通道图像；对所述目标通道图像进行第一次缺陷检测，获取第一检测结果；根据所述第一检测结果确定所述晶圆图像上的多个检测点；对所述检测点进行第二次缺陷检测，获取第二检测结果；根据所述第一检测结果和所述第二检测结果确定晶圆的缺陷检测结果。本申请的晶圆外观缺陷检测方法通过提取目标通道图像，对目标通道图像进行两次缺陷检测，提高了缺陷检测结果的准确性。