基于模糊推理的热蒸发式薄膜沉积串级控制方法及系统

本发明提供了基于模糊推理的热蒸发式薄膜沉积串级控制方法及系统，包括：根据本次薄膜沉积任务生成若干条模型参数构建非线性耦合模型，利用温度环对基板的当前温度进行模糊PID控制，推理并调整基板的PID参数，利用功率环对沉积实际数据进行MPC滚动优化，选取若干个模糊规则对相应预测状态进行偏差抑制，根据PID参数推导温度环的功率设定值并传递到功率环中进行双环信息交互，直到完成本次薄膜沉积任务为止，以解决目前热蒸发式薄膜沉积设备在均匀性、响应速度、抗扰能力及成本控制等方面的技术难题。